龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：安徽仕净光能科技有限公司
摘要：本发明涉及TOPCon电池技术领域，具体涉及一种N型电池氧化水生产工艺，包括以下步骤：S1、将载满N型硅片的舟送入炉管；S2、对炉管依次进行抽真空和检漏；S3、升温，将炉管由820℃升温至900℃；S4、通入N2，使得炉管压力为800mbar；S5、升温氧化，将炉管由900℃升温至1030℃，升温过程中通入20000sccm的O2，保持炉管压力为800mbar；S6、恒温氧化，将炉管温度保持在1030℃下50min，恒温过程中通入20000sccm的O2，保持炉管压力为800mbar；S7、降温氧化，将炉管由由1030℃降温至900℃，降温程中通入10000sccm的N2和10000sccm的O2，保持炉管压力为800mbar。本发明在通氧时O2先经过纯水储存瓶携带H20分子进入炉管，然后进行氧化水工艺，加速BSG层的生成，直到得到所需的BSG层厚度以及方阻。
主权项：1.一种N型电池氧化水生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：S1、将载满N型硅片的舟送入炉管；S2、对炉管依次进行抽真空和检漏；S3、升温，将炉管由820℃升温至900℃；S4、通入N2，使得炉管压力为800mbar；S5、升温氧化，将炉管由900℃升温至1030℃，升温过程中通入20000sccm的O2，保持炉管压力为800mbar；S6、恒温氧化，将炉管温度保持在1030℃下50min，恒温过程中通入20000sccm的O2，保持炉管压力为800mbar；S7、降温氧化，将炉管由由1030℃降温至900℃，降温程中通入10000sccm的N2和10000sccm的O2，保持炉管压力为800mbar；S8、破真空，通入N2至炉管内回到常压；S9、出舟。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽仕净光能科技有限公司 一种N型电池氧化水生产工艺
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号