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申请/专利权人：安徽奥飞声学科技有限公司
摘要：本发明涉及新型电声元件制造和微电子器件等技术领域，尤其涉及一种MEMS结构及应用其的压电麦克风、电子烟传感器。本发明MEMS结构包括：衬底；压电复合层，形成于衬底上方，覆盖衬底背腔，包括：沿周向的N个弹簧单元；振膜结构和固定结构，分别位于所述N个弹簧单元的内侧和外侧，N≥3；下限位结构，其向上形成周向延伸的下环形凸起部，该下环形凸起部抵接于所述振膜结构的下方；上限位结构，其向下凸起形成周向延伸的上环形凸起部，该上环形凸起部抵接所述振膜结构的上方。本发明中，由于具有上、下环形凸起部的限位作用，保证了振膜结构具有足够大的弯曲变形，避免了振膜由于弹簧刚度过低导致的活塞运动，保证了输出信号的强度。
主权项：1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：衬底，包括：衬底外环体；衬底背腔，形成于所述衬底外环体的内侧；压电复合层，形成于所述衬底上方，覆盖所述衬底背腔，包括：沿周向形成的N个弹簧单元；振膜结构和固定结构，分别位于所述N个弹簧单元的内侧和外侧，N≥3；下限位结构，设置于所述衬底和压电复合层之间，其向上形成周向延伸的下环形凸起部，该下环形凸起部抵接于所述振膜结构的下方；上限位结构，设置于所述压电复合层上方，其向下凸起形成周向延伸的上环形凸起部，该上环形凸起部抵接所述振膜结构的上方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽奥飞声学科技有限公司 MEMS结构及应用其的压电麦克风、电子烟传感器
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