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申请/专利权人：上海交通大学

摘要：本发明涉及一种圆柱体表面纹理及三维形貌测量方法和装置，方法包括设置光学显微成像模组正对样品高度h0处，并且物平面到电动转台转轴中心距离为起始位置r0处，通过电动转台带动样品旋转，每转动一定角度进行一次图像采集，旋转360°后，采集到r0处待测样品壁面展开图像；驱动光学显微成像模组调整物平面距离，获取扫描范围r0～rn下待测圆柱体样品的壁面展开图像，提取纹理和三维形貌信息；驱动光学显微成像模组沿电动转台转轴方向扫描，获取在待测圆柱体样品高度范围h0～hm内的纹理和三维形貌信息；将不同高度位置的纹理和三维形貌信息进行拼接，得到完整的壁面纹理和三维形貌。与现有技术相比，本发明能精确测量圆柱体内、外壁面纹理及三维形貌。

主权项：1.一种圆柱体表面纹理及三维形貌测量方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：将待测圆柱体样品安装于电动转台上，设置光学显微成像模组正对待测圆柱体样品的高度h0处，设置光学显微成像模组的物平面到电动转台转轴中心距离为起始位置r0处，并根据待测圆柱体样品的表面起伏程度，确定光学显微成像模组的物平面距离电动转台转轴中心距离的扫描范围r0～rn；S2：通过电动转台带动待测圆柱体样品旋转，待测圆柱体样品每转动一定角度触发光学显微成像模组进行图像采集，待测圆柱体样品旋转360°后，光学显微成像模组采集到起始位置r0下待测圆柱体样品的壁面展开图像；S3：驱动光学显微成像模组在所述扫描范围r0～rn内，以预设的横向步距调整光学显微成像模组的物平面与电动转台转轴中心的距离，并执行步骤S2；S4：重复执行步骤S3，直至获取在扫描范围r0～rn内的待测圆柱体样品的壁面展开图像；S5：使用纹理信息及三维形貌信息处理算法对采集的扫描范围r0～rn下待测圆柱体样品的壁面展开图像进行纹理信息和三维形貌数据处理，获取高度h0处对应的待测圆柱体样品表面的纹理和三维形貌信息；S6：驱动光学显微成像模组沿电动转台转轴方向以预设的垂向步距运动，并重复执行步骤S2-S5，直至获取在待测圆柱体样品高度范围h0～hm内的纹理和三维形貌信息；S7：通过图像融合算法对待测圆柱体样品高度范围h0～hm内的纹理和三维形貌信息进行拼接，最终得到待测圆柱体样品完整的壁面纹理和三维形貌。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海交通大学 一种圆柱体表面纹理及三维形貌测量方法和装置