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申请/专利权人：加特兰微电子科技(上海)有限公司

摘要：本发明公开了一种射频传输装置，包括依次分布于顶层至底层的多个导电层，其中，多个导电层包括：一个或多个第一信号层，每个第一信号层用于形成传输线和接地线之外的电路元件和电路连线；一个或多个传输层，一个或多个传输层形成用于传输射频信号的传输线，各传输层的线宽和或厚度大于等于各第一信号层的线宽和或厚度；以及接地层，用于形成接地线以提供参考地电位，接地层位于一个或多个传输层与一个或多个第一信号层之间以隔离一个或多个传输层和一个或多个第一信号层。本发明提供的射频传输装置降低了布局布线的难度保证了传输线的传输质量。

主权项：1.一种用于雷达的射频传输装置，包括依次分布于顶层至底层的多个导电层，其中，所述多个导电层包括：一个或多个第一信号层，每个所述第一信号层用于形成传输线和接地线之外的电路元件和电路连线，所述传输线用于传输射频信号；一个或多个传输层，所述一个或多个传输层整体形成所述传输线，各所述传输层的线宽和或厚度小于等于各所述第一信号层的线宽和或厚度；以及接地层，用于形成所述接地线以提供参考地电位，所述接地层位于所述一个或多个传输层与所述一个或多个第一信号层之间以隔离所述一个或多个传输层和所述一个或多个第一信号层，从顶层至底层依次分布的所述多个导电层的线宽和或厚度呈下降趋势。

全文数据：射频传输装置技术领域[0001]本发明涉及无线通信领域，更具体地，涉及一种射频传输装置。背景技术[0002]在雷达和无线通信系统中，由于射频信号自身的特点，通常需要设置射频传输装置对射频信号进行传输，射频传输装置通常包括用于传递射频信号的传输线和用于提供参考地电位的接地线。[0003]在射频集成电路中，射频传输装置主要由从顶层至底层依次分布的多个可互连的金属层实现，例如一种现有的集成电路工艺能够实现八层以上的可互连金属层。位于顶层的金属层通常在线宽和厚度上都高于其他金属层，而位于底层的金属层通常在线宽和厚度上都低于其他金属层。[0004]图1示出了传统的射频传输装置的结构示意图。[0005]如图1所示，在传统的射频传输装置10中，为了降低传输线的传输损耗，通常采用位于顶层的金属层11形成传输线，同时采用位于底层的金属层12形成接地线。[0006]然而，为了减小对射频信号的干扰，系统中的其他电路连线和电路模块尽量远离传输线所在的区域，导致射频集成电路的版图面积很难缩小，并且也增加了布局布线的时间成本和空间成本，为射频集成电路的设计和生产带来不便。[0007]为了解决上述问题，基于传统的射频传输装置的结构，一种现有技术采用位于次顶层的金属层形成传输线，而采用顶层的金属层作为信号层以用于形成其他电路模块和连线。但是在这种现有技术中，由于在集成电路的制造工艺中，位于顶层的金属层与位于次顶层的金属层相比，通常具有更大的线宽和厚度，因此，由位于次顶层的金属层的传输线附近将会放置有大面积的、且传输其他电路信号的金属，这将不可避免地影响到传输线的传输质量。[0008]另一种现有技术在传统的射频传输装置的基础上，采用位于底层的金属层作为信号层以形成其他电路模块和连线，并采用位于次底层的金属层或更上层的金属层形成接地线，使得接地线能够隔离信号层和用于形成传输线的顶层金属层。但是在这种现有技术中，由于位于底层的金属层与其他金属层相比通常具有最小的线宽和厚度，因此，采用位于底层的金属层形成的信号连线对电流的承受能力有限，使得这种现有技术的射频传输装置的应用受到限制。[0009]因此，期待一种新的射频传输装置，使得相关技术人员在对其他电路连线和电路模块进行布局布线时不需要避开传输线所在区域、保证传输线的传输质量并且使得传输线和接地线之外的电路元件和电路连线能够具有一定的电流承受能力。发明内容[0010]为了解决上述现有技术存在的问题，本发明提供一种射频传输装置，^能够降低布局布线的难度，使得相关人员在对传输线和接地线之外的电路连线和元件进行布局布线时不需要避开射频传细装置的传输线所在区域，并且降低了对电流承受能力的要求，保证了传输线的传输质量。[0011]本发明提供了一种射频传输装置，包括依次分布于顶层至底层的多个导电层，其中，所述多个导电层包括:一个或多个第一信号层，每个所述第一信号层用于形成传输线和接地线之外的电路元件和电路连线，所述传输线用于传输射频信号;一个或多个传输层，所述一个或多个传输层整体形成所述传输线，各所述传输层的线宽和或厚度大于等于各所述第一信号层的线宽和或厚度；以及接地层，用于形成所述接地线以提供参考地电位，所述接地层位于所述一个或多个传输层与所述一个或多个第一信号层之间以隔离所述一个或多个传输层和所述一个或多个第一信号层。[0012]优选地，所述多个导电层还包括一个或多个第二信号层，与所述一个或多个第一信号层共同用于形成所述传输线和所述接地线之外的电路元件和电路连线，所述一个或多个传输层位于所述接地层与所述一个或多个第二信号层之间。[0013]优选地，各所述第二信号层的线宽和或厚度小于等于各所述传输层的线宽和或厚度。[0014]优选地，所述一个或多个传输层在所述多个导电层中依次相邻分布，且每两个位置相邻的所述传输层通过互连实现整体并联或部分并联。[0015]优选地，各所述传输层分别具有平均分布的多个互联节点，每两个位置相邻的所述传输层中位置对应的所述互联节点电相连。[0016]优选地，位于顶层的所述导电层作为所述第一信号层，位于次顶层的所述导电层作为所述接地层。[0017]优选地，从顶层至底层依次分布的所述多个导电层的线宽和或厚度呈下降趋势。[0018]优选地，所述多个导电层分别由金属材料制成。[0019]本发明提供的射频传输装置将用于提供参考地电压的接地层设置在用于形成传输线的传输层和用于形成元件和电路连线的信号层之间，从而接地层能够有效地将信号层和传输层隔离，因此由传输层形成的传输线的传输质量不会受到信号层中传输的信号的影响;在本发明各实施例提供的射频传输装置中，将线宽和或厚度较大的导电层作为信号层，从而形成于信号层中的元件和电路连线能够允许较大的电流，降低了对电路进行布局布线的难度，同时，虽然将线宽和厚度较小的导电层作为传输层，但是由于在传输层中可以大面积地铺设传输线，因此用于传输射频信号的传输线也能够具有较低的电阻率，从而保证了传输线具有较低的传输损耗和较好的传输质量。附图说明[0020]通过以下参照附图对本发明实施例的描述，本发明的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚。[0021]图1示出了传统的射频传输装置的结构示意图。[0022]图2示出本发明第一实施例的射频传输装置的结构示意图。[0023]图3示出本发明第二实施例的射频传输装置的结构示意图。[0024]图4示出本发明第三实施例的射频传输装置的结构示意图。[0025]图5示出本发明第四实施例的射频传输装置的结构示意图。具体实施方式[0026]以下将参照附图更详细地描述本发明。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，在图中可能未示出某些公知的部分。[0027]在下文中描述了本发明的许多特定的细节，例如器件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术，以便更清楚地理解本发明。但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本发明。[0028]在本发明的描述中，“之上”是指更靠近顶层的位置，“之下”是指更靠近底层的位置。[0029]本发明实施例的射频传输装置包括依次分布于顶层至底层的多个导电层，从顶层至底层依次分布的多个导电层的线宽和或厚度呈下降趋势，例如，更靠近最底层的导电层相比于更靠近最顶层的导电层具有相同或者更小的线宽和或厚度。通常，多个导电层分别由金属材料制成，相邻的两个导电层之间存在绝缘层，不同的导电层之间可以通过过孔互连D[0030]其中，多个导电层包括一个或多个第一信号层、一个或多个传输层以及接地层。[0031]—个或多个传输层整体用于形成射频传输装置的传输线。当传输线由依次连续分布的多个传输层实现时，每两个相邻的传输层整体或部分并联，从而多个传输层能并联形成电阻率很低传输线，降低了传输损耗、提高了传输质量。[0032]每个第一信号层分别用于形成元件和或电路连线，接地层用于形成接地线以提供参考地电位，其中，接地层位于各个传输层和各个第一信号层之间以隔离传输线与第一信号层中形成的元件和连线。[0033]在一些优选的实施例中，多个导电层还包括一个或多个第二信号层，与各个第一信号层共同用于形成元件和连线。[0034]基于此，下面参照附图对本发明的具体实施例进行详细说明。[0035]图2示出本发明第一实施例的射频传输装置的结构示意图。[0036]如图2所示，本发明第一实施例的射频传输装置100由依次分布于顶层至底层的多个导电层实现。[0037]多个导电层包括第一信号层110、接地层120以及传输层130。位于顶层的导电层作为第一信号层110,位于次顶层的导电层作为接地层12〇,位于接地层120之下的任一个导电层作为传输层130。优选地，将位于底层或次底层的导电层作为传输层丨30。[0038]在本实施例中，由于接地层12〇位于第一信号层110之下、传输层130之上，因此，gp使第一信号层110的线宽和或厚度大于传输层130的线宽和或厚度，接地以提供参考地电位的接地层120也能够有效地隔离第一信号层110和传输层13〇,使得由传输层13〇形成的传输线的传输质量不受第一信号层110的影响;位于顶层的导电层作为第一信号层11〇具有较大的线宽和厚度，则形成于第一信号层i丨〇中的电路元件和电路连线能够允许较大的电流，降低了对电路进行布局布线的难度；由于在传输层13〇中可以大面积地铺设传输线，因此，即使将最底层或次底层的导电层作为传输层130,也能够使传输线具有较低的电阻率，保证了传输线的传输质量。LUU°7」®一少观，仕一些r展的实施例中，多个导电层可以包括多个位于接地层12〇之上的第一信号层110。[0040]图3示出士发明第二实施例的射频传输装置的结构示意图。[0041]如图3所示，本发明第二实施例的射频传输装置200由依次分布于顶层至底层的多个导电层实现。[0042]乡t导电层包括第一信号层則、接地层22〇以及多个传输层亂位于顶层的导电层作为第一伯i号层210，位于次顶层的导电层作为接地层22〇，位于接地层22〇之下的多个连续分布的导电层分别作为多个传输层23〇。其中，每两个位置相邻的传输层23〇通过互连实现至少部分并联，即各个传输层230上分别分布有多个互联节点，每两个上下相邻的传输层230上位置相应的互联节点电相连，使得每两个位置相邻的传输层23〇能够实现整体并联或局部并联，以降低传输线的传输损耗。优选地，每个传输层23〇上的互联节点均匀分布。[0043]在本实施例中，与上述实施例相同，接地层220能够有效地隔离'第一信号层210和f个传输层2加，使得由各个传输层230形成的传输线的传输质量不受第一信号层的影响；位于顶层的导电层作为第一信号层21〇具有较大的线宽和厚度，则形成于第一信号层21〇中的电路元件和电路连线能够允许较大的电流，降低了对电路进行布局布线的难度。[0044]进一步地，在一些扩展的实施例中，多个导电层可以包括多个位于接地层220之上的第一信号层210。[0045]图4示出士发明第三实施例的射频传输装置的结构示意图。[0046]如图4所示，本发明第三实施例的射频传输装置3〇〇由依次分布于顶层至底层的多个导电层实现。[°047]多个导电层包括第一信号层310、接地层320、多个传输层330以及第二信号层340。位于顶层的导电层作为第一信号层310,位于次顶层的导电层作为接地层320,位于底层的导电层作为第二信号层340,位于接地层3加和第二信号层340之间的多个连续分布的导电层作为多个传输层330。其中，每两个位置相邻的传输层330通过互连实现至少部分并联，gp各=传输层330上分别分布有多个互联节点，每两个上下相邻的传输层33〇上位置相应的互联节点电相连，使得每两个位置相邻的传输层330能够实现整体并联或局部并联，以降低传输线的传输损耗。优选地，每个传输层33〇上的互联节点均匀分布。[0048]在本实施例中，与上述实施例相同，接地层320能够有效地隔离第一信号层310和f个传输层330,使得由各个传输层：33〇形成的传输线的传输质量不受第一信号层的影响；位于顶层的导电层作为第一信号层310具有较大的线宽和厚度，则形成于第一信号层310中的电路元件和电路连线能够允许较大的电流，降低了对电路进行布局布线的难度；由于位于底层的导电层的线宽和或厚度通常小于各个传输层330的线宽和或厚度，因此，采用位于底层的导电层形成的第二信号层340中的信号对传输线的传输质量影响微弱。[0049]进一步地，在一些扩展的实施例中，多个导电层可以包括多个位于接地层320之上的第一信号层310,以及多个位于各传输层330之下的第二信号层340。[0050]图5示出本发明第四实施例的射频传输装置的结构示意图。[0051]如图5所示，本发明第四实施例的射频传输装置400由依次分布于顶层至底层的多个导电层实现。[0052]多个导电层包括第一信号层410、接地层420、传输层430以及第二信号层440。位于顶层的导电层作为第一信号层410,位于次顶层的导电层作为接地层420,位于底层的导电层作为第二信号层440,位于第二信号层440与接地层4洲之间的任一导电层作为传输层430。优选地，将位于次底层的导电层作为传输层430。[0053]在本实施例中，与上述实施例相同，接地层420能够有效地隔离第一信号层410和传层43〇，使得由传输层43〇形成的传输线的传输质量不受第一信号层的影响；位于顶层的导电层作为第一信号层410具有较大的线宽和厚度，因此形成于第一信号层41〇中的电路元件和电路连线能够允许较大的电流，降低了对电路进行布局布线的难度；由于位于底层的导电层的线宽和或厚度通常小于传输层430的线宽和或厚度，因此，采用位于底层的导电层形成的第二信号层440中的信号对传输线的传输质量影响微弱。[0054]进一步地，在一些扩展的实施例中，多个导电层可以包括多个位于接地层420之上的第一信号层410,以及多个位于传输层430之下的第二信号层440。[0055]本发明各实施例提供的射频传输装置将用于提供参考地电压的接地层设置在用于形成传输线的传输层和用于形成元件和电路连线的信号层之间，从而接地层能够有效地将信号层和传输层隔离，因此由传输层形成的传输线的传输质量不会受到信号层中传输的信号的影响;在本发明各实施例提供的射频传输装置中，将线宽和或厚度较大的导电层作为信号层，从而形成于信号层中的元件和电路连线能够允许较大的电流，降低了对电路进行布局布线的难度，同时，虽然将线宽和厚度较小的导电层作为传输层，但是由于在传输层中可以大面积地铺设传输线，因此用于传输射频信号的传输线也能够具有较低的电阻率，从而保证了传输线具有较低的传输损耗和较好的传输质量。[0056]应当说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。[0057]依照本发明的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本发明以及在本发明基础上的修改使用。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

权利要求：1.一种射频传输装置，包括依次分布于顶层至底层的多个导电层，其中，所述多个导电层包括：一个或多个第一信号层，每个所述第一信号层用于形成传输线和接地线之外的电路元件和电路连线，所述传输线用于传输射频信号；一个或多个传输层，所述一个或多个传输层整体形成所述传输线，各所述传输层的线宽和或厚度大于等于各所述第一信号层的线宽和或厚度；以及接地层，用于形成所述接地线以提供参考地电位，所述接地层位于所述一个或多个传输层与所述一个或多个第一信号层之间以隔离所述一个或多个传输层和所述一个或多个第一信号层。2.根据权利要求1所述的射频传输装置，其中，所述多个导电层还包括一个或多个第二信号层，与所述一个或多个第一信号层共同用于形成所述传输线和所述接地线之外的电路元件和电路连线，所述一个或多个传输层位于所述接地层与所述一个或多个第二信号层之间。3.根据权利要求2所述的射频传输装置，其中，各所述第二信号层的线宽和或厚度小于等于各所述传输层的线宽和或厚度。4.根据权利要求1所述的射频传输装置，其中，所述一个或多个传输层在所述多个导电层中依次相邻分布，且每两个位置相邻的所述传输层通过互连实现整体并联或部分并联。5.根据权利要求4所述的射频传输装置，其中，各所述传输层分别具有平均分布的多个互联节点，每两个位置相邻的所述传输层中位置对应的所述互联节点电相连。6.根据权利要求1所述的射频传输装置，其中，位于顶层的所述导电层作为所述第一信号层，位于次顶层的所述导电层作为所述接地层。7.根据权利要求1所述的射频传输装置，其中，从顶层至底层依次分布的所述多个导电层的线宽和或厚度呈下降趋势。8.根据权利要求1所述的射频传输装置，其中，所述多个导电层分别由金属材料制成。

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