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申请/专利权人:三菱电线工业株式会社
摘要:本公开旨在提供一种弹性体组合物和使用了该弹性体组合物的密封件,其能够实现理想的耐压缩破坏性、压缩永久变形等特性。本公开的弹性体组合物含有弹性体、粉体酚醛树脂以及粉体二氧化硅。本公开的密封件是对本公开的弹性体组合物进行交联成形而得到的。该密封件可以使用于半导体制造装置。
主权项:1.一种弹性体组合物,其特征在于:含有弹性体、粉体酚醛树脂、以及粉体二氧化硅,所述弹性体至少包括氟弹性体或硅弹性体,相对于所述弹性体100质量份,所述酚醛树脂和所述二氧化硅的添加量分别为1质量份以上且30质量份以下,所述酚醛树脂的粒径为6μm以下。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 三菱电线工业株式会社 弹性体组合物及由其制成的密封件
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