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申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆水平调整装置及机台，通过设置侦测装置和至少三个升降装置；所述侦测装置用于侦测晶圆盒内晶圆的状态；所有的升降装置共同形成用于放置晶圆盒的放置面；当所述侦测装置侦测到的信号变化满足设定条件时，至少一个升降装置高度改变调整所述晶圆盒的状态，以调整所述晶圆盒内晶圆的状态达到水平。相较于现有技术，无需进行装载示教和机械手示教，成本更低，晶圆盒内的晶圆由升降装置调整水平，避免因晶圆盒和机械手的差异，而造成的刮伤以及撞片风险。
主权项：1.一种晶圆水平调整装置，用于半导体装置，其特征在于，包括：侦测装置和至少三个升降装置；所述侦测装置用于侦测晶圆盒内晶圆的状态；所有的升降装置共同形成用于放置晶圆盒的放置面；当所述侦测装置侦测到的信号变化满足设定条件时，至少一个升降装置高度改变调整所述晶圆盒的状态，以调整所述晶圆盒内晶圆的状态达到水平。
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百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 一种晶圆水平调整装置及机台
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