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申请/专利权人：深圳新益昌开玖自动化设备有限公司
摘要：本申请属于半导体加工技术领域，涉及一种夹具安装机构，用于安装夹具，夹具的底面设有定位凸台，夹具安装机构包括加热底座、热转接件、限位件与夹紧组件；热转接件装设于加热底座上，限位件装设于加热底座上，夹紧组件活动装设于加热底座上，其中，限位件与夹紧组件分别位于热转接件的对侧；夹具通过定位凸台定位装设于热转接件上，限位件与夹紧组件分别与定位凸台配合，以夹紧夹具。本申请还提供一种夹具切换装置。本申请提供的技术方案能够提高夹具安装机构的加热面积、加热均匀度以及通用性。
主权项：1.一种夹具安装机构，用于安装夹具，所述夹具的底面设有定位凸台，其特征在于，所述夹具安装机构包括加热底座、热转接件、限位件与夹紧组件；所述热转接件装设于所述加热底座上，所述限位件装设于所述加热底座上，所述夹紧组件活动装设于所述加热底座上，其中，所述限位件与所述夹紧组件分别位于所述热转接件的对侧；所述夹具通过所述定位凸台定位装设于所述热转接件上，所述限位件与所述夹紧组件分别与所述定位凸台配合，以夹紧所述夹具。
全文数据：
权利要求：
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