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申请/专利权人:深圳新益昌开玖自动化设备有限公司
摘要:本申请属于半导体加工技术领域,涉及一种夹具安装机构,用于安装夹具,夹具的底面设有定位凸台,夹具安装机构包括加热底座、热转接件、限位件与夹紧组件;热转接件装设于加热底座上,限位件装设于加热底座上,夹紧组件活动装设于加热底座上,其中,限位件与夹紧组件分别位于热转接件的对侧;夹具通过定位凸台定位装设于热转接件上,限位件与夹紧组件分别与定位凸台配合,以夹紧夹具。本申请还提供一种夹具切换装置。本申请提供的技术方案能够提高夹具安装机构的加热面积、加热均匀度以及通用性。
主权项:1.一种夹具安装机构,用于安装夹具,所述夹具的底面设有定位凸台,其特征在于,所述夹具安装机构包括加热底座、热转接件、限位件与夹紧组件;所述热转接件装设于所述加热底座上,所述限位件装设于所述加热底座上,所述夹紧组件活动装设于所述加热底座上,其中,所述限位件与所述夹紧组件分别位于所述热转接件的对侧;所述夹具通过所述定位凸台定位装设于所述热转接件上,所述限位件与所述夹紧组件分别与所述定位凸台配合,以夹紧所述夹具。
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权利要求:
百度查询: 深圳新益昌开玖自动化设备有限公司 一种夹具安装机构以及夹具切换装置
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