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申请/专利权人：芯恩(青岛)集成电路有限公司
摘要：本实用新型提供了一种排风系统和半导体设备，排风系统包括排风单元和高度调节单元；排风单元设置于清洗槽的两对称外侧壁，排风单元包括相连通的汇流腔体和进风部，进风部设置于排风单元靠近顶端部的侧壁，且进风部朝向清洗槽设置；高度调节单元包括排风管路，排风管路设置于排风单元的底端部，且排风管路的两端分别与汇流腔体和厂务排气管路连通，排风管路滑动设置于固定底板，以带动排风单元沿清洗槽侧壁的高度方向上下运动。本实用新型的气体流场由上往下流动，晶圆无“切割”气体流场现象，避免了晶圆在传送的过程中受机台内部环境影响而导致破损等，而且机台内部气体流场更加稳定，对清洗槽中挥发性气体的收集效率高，保证了晶圆的良率。
主权项：1.一种排风系统，其特征在于，包括：排风单元，设置于清洗槽的两对称外侧壁，所述排风单元包括相连通的汇流腔体和进风部，所述进风部设置于所述排风单元靠近顶端部的侧壁，且所述进风部朝向所述清洗槽设置；高度调节单元，包括排风管路，所述排风管路设置于所述排风单元的底端部，且所述排风管路的两端分别与所述汇流腔体和厂务排气管路连通，所述排风管路滑动设置于固定底板，以带动所述排风单元沿所述清洗槽侧壁的高度方向上下运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯恩(青岛)集成电路有限公司 排风系统和半导体设备
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