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申请/专利权人:芯恩(青岛)集成电路有限公司
摘要:本实用新型提供了一种排风系统和半导体设备,排风系统包括排风单元和高度调节单元;排风单元设置于清洗槽的两对称外侧壁,排风单元包括相连通的汇流腔体和进风部,进风部设置于排风单元靠近顶端部的侧壁,且进风部朝向清洗槽设置;高度调节单元包括排风管路,排风管路设置于排风单元的底端部,且排风管路的两端分别与汇流腔体和厂务排气管路连通,排风管路滑动设置于固定底板,以带动排风单元沿清洗槽侧壁的高度方向上下运动。本实用新型的气体流场由上往下流动,晶圆无“切割”气体流场现象,避免了晶圆在传送的过程中受机台内部环境影响而导致破损等,而且机台内部气体流场更加稳定,对清洗槽中挥发性气体的收集效率高,保证了晶圆的良率。
主权项:1.一种排风系统,其特征在于,包括:排风单元,设置于清洗槽的两对称外侧壁,所述排风单元包括相连通的汇流腔体和进风部,所述进风部设置于所述排风单元靠近顶端部的侧壁,且所述进风部朝向所述清洗槽设置;高度调节单元,包括排风管路,所述排风管路设置于所述排风单元的底端部,且所述排风管路的两端分别与所述汇流腔体和厂务排气管路连通,所述排风管路滑动设置于固定底板,以带动所述排风单元沿所述清洗槽侧壁的高度方向上下运动。
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百度查询: 芯恩(青岛)集成电路有限公司 排风系统和半导体设备
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