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申请/专利权人：西安电子科技大学
摘要：本发明公开了一种高带宽铪基铁电存储器及其制作方法，涉及半导体存储技术领域。该高带宽铪基铁电存储器包括多个沿第一方向堆叠设置的铁电存储器阵列晶圆，沿第一方向相邻的两个铁电存储器阵列晶圆物理连接和电连接。本发明提供的高带宽铪基铁电存储器具有抗辐照、较大的带宽，较低的功耗和较大的容量的优点。
主权项：1.一种高带宽铪基铁电存储器，其特征在于，包括：多个沿第一方向堆叠设置的铁电存储器阵列晶圆，沿所述第一方向相邻的两个所述铁电存储器阵列晶圆物理连接和电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安电子科技大学 一种高带宽铪基铁电存储器及其制作方法
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