买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：中国科学院地质与地球物理研究所

摘要：本发明提供一种用于月壤中稀有气体同位素测量的测试装置和方法。测试装置包括通过管路连接的二氧化碳激光超高真空熔样系统、锆铝泵组、真空干泵、第一分子泵、第二分子泵、氖气捕获单元、氩气捕获单元、氩氪氙捕获单元、稀释罐、溅射离子泵和稀有气体质谱仪，各管路和各装置部件通过特定的方式进行连接，另外各管路与各装置部件的连通路上均设有用于控制管路启闭的控制阀，且本申请还提供配套使用的测试方法。本申请提供的测试装置和测试方法，可在毫克级月壤的使用条件下，完成对月壤中氦、氖、氩、氪和氙的同位素及其丰度的高精度测量。在降低月壤测试用量的同时又具有实验运行的高效性，保证了各稀有气体同位素体系在同一份样品中实现比较。

主权项：1.一种用于月壤中稀有气体同位素测量的测试装置，其特征在于，包括通过管路连接的二氧化碳激光超高真空熔样系统（29）、第一锆铝泵组（21）、第二锆铝泵组（33）、真空干泵（1）、第一分子泵（5）、第二分子泵（9）、氖气捕获单元、氩气捕获单元、氩氪氙捕获单元、稀释罐（45）、溅射离子泵（36）和稀有气体质谱仪（48）；所述管路包括第一CF四通（11）、第一CF三通（16）、第一CF二通（20）、第二CF四通（23）、第二CF二通（30）、第二CF三通（32）、第三CF四通（34）、第四CF四通（38）和第五CF四通（41）；其中：所述第一CF四通（11）的四个端口分别连接第一分子泵（5）、第二CF三通（32）、第一CF三通（16）和压强检测单元；第二CF三通（32）的剩余两个端口分别连接第二CF二通（30）和真空干泵（1）；第二CF二通（30）的另一端口连接二氧化碳激光超高真空熔样系统（29）；所述第一CF三通（16）剩余的两个端口分别连接氖气捕获单元和通过第一CF二通（20）连接第一锆铝泵组（21）；所述第二CF四通（23）的四个端口分别连接第一锆铝泵组（21）、氩气捕获单元、第二锆铝泵组（33）和二氧化碳激光超高真空熔样系统（29）；所述第三CF四通（34）的四个端口分别连接第二锆铝泵组（33）、溅射离子泵（36）、第四CF四通（38）和第五CF四通（41）；所述第四CF四通（38）剩余的三个端口分别连接压强检测单元、稀释罐（45）和第二分子泵（9）；所述第五CF四通（41）剩余的三个端口分别连接氩氪氙捕获单元、稀释罐（45）和稀有气体质谱仪（48）；且，各管路与各装置部件的连通路上均设有用于控制管路启闭的控制阀。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院地质与地球物理研究所 一种用于月壤中稀有气体同位素测量的测试装置和测试方法