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申请/专利权人：国立大学法人大阪大学;松下控股株式会社
摘要：本发明提供一种结晶中的氧杂质少的III族氮化物结晶的制造方法。本发明的III族氮化物结晶的制造方法是使用容纳碱金属、含III族元素的原料、种基板11的坩埚；容纳坩埚的反应容器；容纳反应容器15的压力容器；将含氮元素气体和或氩气导入至压力容器的气体供给管；将压力容器密封的盖；将反应容器加热的加热器；用于将加热器和反应容器绝缘的绝缘材料；防止反应容器内的热泄露的绝热材料来制造III族氮化物结晶的方法，具有以下工序：将盖与所述压力容器分离，将反应容器容纳于压力容器内，用盖将压力容器密封后，将氩气填充于压力容器内的工序；将氩气加热并保持的工序；将经加热的氩气从压力容器排出的工序；和将含氮元素气体导入压力容器内，使碱金属与含III族元素的原料发生反应从而使III族氮化物结晶在种基板上生长的工序。
主权项：1.一种III族氮化物结晶的制造方法，其特征在于，其是使用以下设施来制造III族氮化物结晶的方法，所述设施包括：容纳碱金属、含III族元素的原料、种基板的坩埚，容纳所述坩埚的反应容器，容纳所述反应容器的压力容器，将含氮元素气体和或氩气导入至所述压力容器的气体供给管，将所述压力容器密封的盖，以能够实现在所述反应容器的内部产生热对流的温度分布的方式设置的将所述反应容器加热的多个加热器，用于将所述多个加热器和所述反应容器绝缘的绝缘材料，和防止所述反应容器内的热泄露的绝热材料，III族氮化物结晶的制造方法具有以下工序：将所述盖与所述压力容器分离，将所述反应容器容纳于所述压力容器内，用所述盖将所述压力容器密封后，将氩气填充于所述压力容器内的工序；将所述氩气加热并保持的工序；将所述经加热的氩气从所述压力容器排出的工序；和将所述含氮元素气体导入所述压力容器内，通过所述多个加热器在所述反应容器的内部产生热对流，使所述碱金属与所述含III族元素的原料发生反应从而使III族氮化物结晶在所述种基板上生长的工序。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国立大学法人大阪大学 松下控股株式会社 III族氮化物结晶的制造方法
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