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申请/专利权人：拓思精工科技(苏州)有限公司
摘要：本实用新型涉及一种晶片刷洗设备，包括存储装置、取料装置及刷洗装置，存储装置、刷洗装置沿第一方向分布，取料装置设置在存储装置、刷洗装置之间并用于在两者之间移送晶片，存储装置包括进料机构、出料机构，进料机构、出料机构沿第二方向分布，第一方向、第二方向相互垂直，刷洗装置包括多个刷洗机构、移料机构及翻转机构，刷洗机构用于对晶片表面进行刷洗，多个刷洗机构沿第二方向分布在移料机构的两侧，翻转机构用于翻转晶片，翻转机构沿第一方向设置在移料机构的侧部，移料机构用于在翻转机构、多个刷洗机构之间移送晶片。本实用新型可实现晶片的快速双面刷洗，各个零部件布局合理，占用空间小，自动化程度高，提高了刷洗效率，清洗效果好。
主权项：1.一种晶片刷洗设备，其特征在于：包括存储装置、取料装置以及刷洗装置，所述的存储装置、刷洗装置沿第一方向分布，所述的取料装置设置在所述的存储装置、刷洗装置之间，用于在所述的存储装置、刷洗装置之间移送晶片，所述的存储装置包括用于存储晶片的进料机构、出料机构，所述的进料机构、出料机构沿第二方向分布，所述的第一方向、第二方向之间相互垂直，所述的刷洗装置包括多个刷洗机构、移料机构以及翻转机构，所述的刷洗机构用于对晶片表面进行刷洗，多个所述的刷洗机构沿所述的第二方向分布在所述的移料机构的两侧，所述的翻转机构用于翻转晶片，所述的翻转机构沿所述的第一方向设置在所述的移料机构的侧部，所述的移料机构用于在所述的翻转机构、多个刷洗机构之间移送晶片。
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权利要求：
百度查询： 拓思精工科技(苏州)有限公司 一种晶片刷洗设备
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