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申请/专利权人：睿晶半导体(宁波)有限公司
摘要：本实用新型提供了一种光刻板制造设备的监控装置。所述光刻板制造设备的监控装置包括：监控板，所述监控板表面有多个具有不同开口方向的嵌孔，所述监控板的参数与所述光刻板制造设备所使用的光刻板相同；检测元件，所述检测元件嵌入嵌孔内，所述检测元件的信号采集方向朝向所述嵌孔的开口。通过将与封闭的工艺腔室内部的光刻板相同尺寸的监控板放入工艺腔室内部，并通过所述监控板表面嵌孔内的检测元件采集信息并将信息传送到所述工艺腔室外部的设备，进而实现对封闭工艺腔室内部制造设备的监控，发现并定位产生缺陷的光刻板的光刻板制造设备的硬件原因。
主权项：1.一种光刻板制造设备的监控装置，其特征在于，包括：监控板，所述监控板表面有多个具有不同开口方向的嵌孔，所述监控板的参数与所述光刻板制造设备所使用的光刻板相同；检测元件，所述检测元件嵌入所述嵌孔内，所述检测元件的信号采集方向朝向所述嵌孔的开口。
全文数据：
权利要求：
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