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申请/专利权人：上海映矽传感技术有限公司
摘要：本发明提供了基于空气净化的半导体加工用粉尘粒子吸取过滤装置，涉及空气净化技术领域，包括：移动座；所述移动座上端面安装有负压箱和吸风机，且负压箱内部滑动连接有收集盒，收集盒内部设有清理部；所述负压箱左右两端面均开设有圆形通孔，且负压箱左端面圆形通孔与吸风机吸风口连接。本发明通过风力叶轮与清理部的配合，能够自动将过滤筒上的粉尘粒子清理掉，从而无需人工清理，并且通过传动组件与敲击机构的配合，能够在吸风机运作时，使振动板和负压箱产生振动，提高了收集盒的灰尘储存量，解决了目前的吸取过滤装置中的过滤网在清理时，需人工清理，并且粉尘粒子在收集盒内部分布不够均匀，降低了收集盒储存量的问题。
主权项：1.基于空气净化的半导体加工用粉尘粒子吸取过滤装置，其特征在于，包括：移动座1；所述移动座1上端面安装有负压箱2和吸风机3，且负压箱2内部滑动连接有收集盒4，收集盒4内部设有清理部9；所述负压箱2左右两端面均开设有圆形通孔，且负压箱2左端面圆形通孔与吸风机3吸风口连接，负压箱2后端面设有敲击机构8，吸风机3中的电机为双头电机；所述移动座1上端面右侧设置有升降板件5，且移动座1上端面左侧安装有传动组件6，升降板件5左右两端面均焊接有一个矩形滑筒501，且两个矩形滑筒501相背面均设有一个限位机构7，移动座1底部安装有移动轮。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海映矽传感技术有限公司 基于空气净化的半导体加工用粉尘粒子吸取过滤装置
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