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申请/专利权人:塔工程有限公司
摘要:实施例公开了一种检查装置,其包括:载物台,多个微发光元件配置于上述载物台;电子束照射部,其向上述多个微发光元件照射电子束;以及腔室,其容纳上述载物台和上述电子束照射部并在内部形成真空。
主权项:1.一种检查装置,包括:载物台,多个微发光元件配置于上述载物台;电子束照射部,其向上述多个微发光元件照射电子束;以及腔室,其容纳上述载物台和上述电子束照射部并在内部形成真空。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 塔工程有限公司 检查装置及利用其的检查方法
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