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申请/专利权人：东京应化工业株式会社
摘要：一种抗蚀剂组合物，含有：具有以通式a10‑1表示的结构单元a10的高分子化合物A1、鎓盐类产酸剂B1、交联剂C、具有5个以下的苯基的多核酚低分子化合物Z，其固体成分浓度为15质量％以上，式中，R为氢原子、碳数为1～5的烷基或碳数为1～5的卤代烷基。Yax1为单键或2价连接基团。Wax1为可具有取代基的芳香族烃基。nax1为1以上的整数。
主权项：1.一种抗蚀剂组合物，其特征在于，含有：具有以下述通式a10-1表示的结构单元a10的高分子化合物A1；鎓盐类产酸剂B1；从由三聚氰胺类交联剂、尿素类交联剂、亚烷基尿素类交联剂、甘脲类交联剂及环氧类交联剂构成的组中选择的至少1种交联剂C；具有5个以下的苯基的多核酚低分子化合物Z，所述抗蚀剂组合物的固体成分浓度为15质量％以上，[化1] 式中，R为氢原子、碳数为1～5的烷基或碳数为1～5的卤代烷基，Yax1为单键或2价连接基团，Wax1为可具有取代基的芳香族烃基，nax1为1以上的整数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京应化工业株式会社 抗蚀剂组合物及抗蚀剂图案形成方法
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