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申请/专利权人:瓦克化学股份公司
摘要:本发明涉及一种用于分选硅块的方法,其包括以下步骤:‑在单个化区域中对硅块进行单个化,‑用至少一个第一测量装置记录硅块在2D侧平面中的投影面积,‑用至少一个另外的测量装置记录2D侧平面上方和或下方的至少一个高度信息项,‑根据投影面积和高度信息项计算硅块的尺寸,‑根据所计算的尺寸的函数控制至少一个偏转装置。本发明还涉及一种用于执行该方法的装置。
主权项:1.用于分选硅块的方法,其包括以下步骤:-在单个化区域中对硅块进行单个化,-用至少一个第一测量装置记录硅块在2D侧平面中的投影面积,-用至少一个另外的测量装置记录所述2D侧平面上方和或下方的至少一个高度信息项,-由所述投影面积和所述高度信息项计算硅块的尺寸,-根据所计算的尺寸控制至少一个偏转装置。
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