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申请/专利权人：通快许廷格两合公司

摘要：为了使用HF信号加热介质12、尤其是生成等离子体，生成具有定义的第一工作频率和定义的第一信号功率的HF馈送信号18。经由传输路径20将HF馈送信号18耦入到介质12中。确定沿传输路径18的第一HF信号反射，并且根据第一HF信号反射来改变第一工作频率，以减少时间上后续的HF信号反射。在第一测试间隔期间将第一工作频率增加定义的第一频率值，以便以限时的方式以增加了的第一工作频率将第一HF馈送信号耦入到介质12中。在第二测试间隔期间将第一工作频率减小定义的第二频率值，以便以限时的方式以减小了的第一工作频率将第一HF馈送信号耦入到介质12中。在第一测试间隔期间确定第二HF信号反射，并且在第二测试间隔期间确定第三HF信号反射。在第二测试间隔结束之后以第二工作频率生成HF馈送信号，该第二工作频率根据第一、第二和第三HF信号反射来选择。

主权项：1.一种使用HF信号加热介质12、尤其是生成等离子体的方法，所述方法具有以下步骤：-生成52具有定义的第一工作频率和定义的第一信号功率的HF馈送信号18，-经由传输路径20将所述HF馈送信号18耦入54到所述介质12中，使得所述介质12被所述HF馈送信号18加热，-确定56沿所述传输路径18的第一HF信号反射，以及-根据所述第一HF信号反射来改变68所述第一工作频率，以减少时间上后续的HF信号反射，其特征在于，在第一测试间隔期间使所述定义的第一工作频率改变、尤其是增加58定义的第一频率值，以便以限时的方式以改变后的、尤其是增加了的第一工作频率将所述第一HF馈送信号耦入到所述介质12中；并且在第二测试间隔期间将所述定义的第一工作频率以相反的方式改变、尤其是减小62定义的第二频率值，以便以限时的方式以通过相反的方式改变后的、尤其是减小了的第一工作频率将所述第一HF馈送信号耦入到所述介质12中，其中在所述第一测试间隔期间确定60在时间上与改变后的、尤其是增加了的所述第一工作频率相关的第二HF信号反射，并且其中在所述第二测试间隔期间确定64在时间上与通过相反的方式改变后的、尤其是减小了的所述第一工作频率相关的第三HF信号反射，并且其中在所述第二测试间隔结束之后以定义的第二工作频率生成68所述HF馈送信号并将其耦入到所述介质12中，其中根据所述第一、第二和第三HF信号反射来选择66所述定义的第二工作频率。

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