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申请/专利权人:三星电子株式会社
摘要:一种图像传感器包括:包括像素部分的衬底和设置在所述衬底中并且围绕所述像素部分的分隔图案。所述分隔图案包括在第一方向上延伸的第一子分隔图案和在与所述第一方向相交的第二方向上延伸的第二子分隔图案。所述像素部分包括限定所述像素部分中的有源区的器件隔离图案和位于所述有源区上的至少一个栅极图案。所述栅极图案沿着第三方向从所述第一子分隔图案经过所述有源区和所述器件隔离图案延伸到所述第二子分隔图案。所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向相交。所述栅极图案具有彼此相反的第一表面和第二表面。所述第一表面从所述第一子分隔图案直线地延伸到所述第二子分隔图案。
主权项:1.一种图像传感器,所述图像传感器包括:衬底,所述衬底包括像素部分;和分隔图案,所述分隔图案设置在所述衬底中,所述分隔图案围绕所述像素部分,其中,所述分隔图案包括:第一子分隔图案,所述第一子分隔图案在与所述衬底的上表面平行的第一方向上延伸;和第二子分隔图案,所述第二子分隔图案在与所述第一方向相交并且与所述衬底的所述上表面平行的第二方向上延伸,其中,所述像素部分包括:器件隔离图案,所述器件隔离图案限定了所述像素部分中的有源区;和至少一个栅极图案,所述至少一个栅极图案位于所述有源区上,其中,所述至少一个栅极图案沿着第三方向从所述第一子分隔图案经过所述有源区和所述器件隔离图案延伸到所述第二子分隔图案,所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向相交并且与所述衬底的所述上表面平行,其中,所述至少一个栅极图案具有彼此相反的第一表面和第二表面,其中,所述第一表面从所述第一子分隔图案直线地延伸到所述第二子分隔图案。
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