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申请/专利权人：珠海莫界科技有限公司
摘要：本发明公开了一种改善树脂晶圆翘曲的方法及系统，方法包括步骤：采用夹持加压装置加压夹住翘曲的树脂晶圆；夹持加压装置包括：两个导热层，分别位于翘曲的树脂晶圆的两侧，导热层的膨胀系数小于翘曲的树脂晶圆的膨胀系数；对夹有翘曲的树脂晶圆的夹持加压装置进行加热并保温第一预设时间后，降温至预设温度并保温第二预设时间；冷却至常温后去除夹持加压装置，得到已改善翘曲的树脂晶圆。通过加热使得翘曲的树脂晶圆表面的活性分子的分子间作用力减小而激活，活性分子的热运动加剧，能够向四周运动，从而改善表面翘曲度，冷却后得到已改善翘曲的树脂晶圆。本申请的方法改善良率较高，降低树脂晶圆的制造成本。
主权项：1.一种改善树脂晶圆翘曲的方法，其特征在于，包括步骤：采用夹持加压装置加压夹住翘曲的树脂晶圆；其中，所述夹持加压装置包括：两个导热层，分别位于所述翘曲的树脂晶圆的两侧，所述导热层的膨胀系数小于所述翘曲的树脂晶圆的膨胀系数，所述导热层覆盖所述翘曲的树脂晶圆；对夹有翘曲的树脂晶圆的夹持加压装置进行加热并保温第一预设时间后，降温至预设温度并保温第二预设时间；当夹有树脂晶圆的夹持加压装置冷却至常温后，去除所述夹持加压装置，得到已改善翘曲的树脂晶圆。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海莫界科技有限公司 改善树脂晶圆翘曲的方法及系统
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