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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明涉及鎓盐、化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题是提供可产生具有适当的酸强度且扩散小的酸的鎓盐、含有其的化学增幅正型抗蚀剂组成物、及使用该抗蚀剂组成物的抗蚀剂图案形成方法。该课题的解决手段是一种鎓盐，以下式A表示。
主权项：1.一种鎓盐，以下式A表示； 式中，n1及n2分别独立地为0～2的整数；n3在n1＝0时为1≤n3≤5的整数，在n1＝1时为1≤n3≤7的整数，在n1＝2时为1≤n3≤9的整数；n4在n2＝0时为0≤n4≤5的整数，在n2＝1时为0≤n4≤7的整数，在n2＝2时为0≤n4≤9的整数；L为单键、醚键、酯键、磺酸酯键、酰胺键、碳酸酯键或氨基甲酸酯键；R1分别独立地为碘原子或也可含有杂原子的分支状或环状的碳数3～20的烃基，且至少1个R1键结于和L所键结的碳原子相邻的碳原子；又，n3为2以上时，多个R1也可互相键结并和它们所键结的碳原子一起形成环；R2为也可含有杂原子的碳数1～20的烃基；又，n4为2以上时，多个R2也可互相键结并和它们所键结的碳原子一起形成环；W1是和相邻的芳香环的碳原子C1及C2一起形成的碳数3～15的环，且形成该环的碳原子的一部分也可被取代成含杂原子的基团；W2是和相邻的芳香环的碳原子C3及C4一起形成的碳数3～15的环，且形成该环的碳原子的一部分也可被取代成含杂原子的基团；Z+为鎓阳离子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 信越化学工业株式会社 鎓盐、化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法
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