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申请/专利权人：致真精密仪器(青岛)有限公司
摘要：本发明涉及高精度检测技术领域，具体的，本发明涉及一种激光光路调整方法及装置，包括以下步骤：调整位移台模块至初始状态，将被检测物置于位移台模块上，光源模块发射激光经被检测物反射后形成反射光，投射至反射光接收模块；旋转位移台模块，以使反射光在感光元件感光面上扫掠，记录旋转角度及相应光信号强度；根据旋转角度及相应光信号强度，识别光信号强度随旋转角度变化的对称位置，将对应角度作为调整目标角度；进行至少两次位移台模块旋转步骤、调整目标角度确定步骤，使反射光在感光面上的扫掠路径成夹角，并获取至少两个调整目标角度；基于调整目标角度调整位移台模块，以使反射光的光斑投射于感光面的中心位置。
主权项：1.一种激光光路调整方法，用于对磁光克尔检测设备中被检测物反射的反射光光路进行校正，其特征在于，包括以下步骤：初始定位步骤：调整位移台模块至初始状态，将被检测物置于所述位移台模块上，光源模块发射激光投射至所述被检测物上，经所述被检测物反射后形成反射光，所述反射光投射至反射光接收模块；位移台模块旋转步骤：旋转所述位移台模块，以使所述反射光在所述反射光接收模块的感光元件感光面上扫掠，记录位移台模块的旋转角度及相应光信号强度；调整目标角度确定步骤：根据所述位移台模块的旋转角度及相应光信号强度，识别所述光信号强度随旋转角度变化的对称位置，将对称位置对应的旋转角度作为所述位移台模块的调整目标角度；光路校正步骤：进行至少两次所述位移台模块旋转步骤、所述调整目标角度确定步骤，使所述反射光在所述感光面上的扫掠路径成夹角，并获取至少两个调整目标角度；基于所述调整目标角度调整所述位移台模块，以使所述反射光的光斑投射于所述感光元件感光面的中心位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 致真精密仪器(青岛)有限公司 激光光路调整方法及装置
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