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申请/专利权人：苏州普耀光电材料有限公司

摘要：本发明公开了一种三甲基铟低温提纯装置，包括提纯原料釜、接收罐、真空保护装置和真空泵，提纯原料釜内装有固体三甲基铟物料，提纯原料釜上连接有高纯载气管路，提纯原料釜通过一伴热管与接收罐连接，接收罐又与真空保护装置连接，该真空保护装置又与真空泵连接，接收罐内设有冷凝装置。本发明还公开了一种三甲基铟低温提纯方法，该方法中，提纯原料釜内的压力小于50torr，提纯原料釜中的温度控制在30～80℃，接收罐内的温度控制在‑30～30℃，高纯载气带动三甲基铟物料进入接收罐内，经过冷却，得到提纯后的三甲基铟。该提纯方法对设备的要求低，设备成本投入低，操作简单，提高了三甲基铟的纯度，且大大提高了提纯过程的安全性和稳定性。

主权项：1.一种三甲基铟低温提纯装置的低温提纯方法，其特征在于：包括提纯原料釜、接收罐、真空保护装置和真空泵，提纯原料釜内装有固体三甲基铟物料，所述提纯原料釜上连接有高纯载气管路，高纯载气经由该高纯载气管路进入提纯原料釜中，该提纯原料釜通过一伴热管与所述接收罐连接，所述接收罐又通过一尾气管与所述真空保护装置连接，该真空保护装置通过一抽真空管与所述真空泵连接，所述提纯原料釜连接有低温加热装置，所述伴热管上绕设有电加热管，所述接收罐内设有冷凝装置，所述真空保护装置包括冷阱和杜瓦罐，该冷阱设置于杜瓦罐内，冷阱与杜瓦罐之间设置有液氮，所述尾气管与所述冷阱连接，冷阱通过所述抽真空管与所述真空泵连接；低温提纯的方法，包括如下步骤：（1）将装置的提纯原料釜和接收罐置于惰性气体手套箱内，将固体三甲基铟物料装入提纯原料釜内，并对提纯原料釜进行密封，向杜瓦罐内注入液氮；（2）将冷凝装置的冷却介质进口与冷却介质出口连接到外部冷却设备上，利用冷凝装置将接收罐内的温度控制在-30～30℃；（3）开启真空泵，对提纯原料釜进行抽真空，控制提纯原料釜内的压力小于50torr；（4）低温加热装置对提纯原料釜进行低温加热，加热温度控制在30～80℃，控制阀打开，高纯载气经由高纯载气管路进入提纯原料釜中，在真空和低温加热条件下，高纯载气带动三甲基铟物料经由伴热管进入接收罐内，经过冷凝装置冷却，得到提纯后的三甲基铟，高纯载气携带无法被冷凝装置冷却的有机杂质进入冷阱内，经过冷阱和杜瓦罐之间的液氮冷却，被吸附留存在冷阱内。

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