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一种半导体芯片加工分切设备 

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申请/专利权人:深圳市函旭科技有限公司

摘要:本实用新型属于半导体芯片加工技术领域,具体为一种半导体芯片加工分切设备,其包括基座板,所述基座板的顶部固接有分切箱,分切箱的底面为开口端,分切箱的顶部固定插接有切割机,基座板位于分切箱内的顶面上开设有用于盛放半导体芯片的放置槽,基座板位于分切箱正下方的底部上固接有收集箱,基座板的顶面贯穿插接有风机,风机的出气端位于基座板的上方且固定套接有进气管,风机的进气端位于基座板的下方且固定套接有排气管,进气管的顶端固定插接在分切箱内,本实用新型在对半导体芯片进行分切加工的过程中,能够对分切所产生的碎屑和粉尘进行集中收集处理,保证了分切后半导体芯片的整洁度。

主权项:1.一种半导体芯片加工分切设备,包括基座板1,其特征在于:所述基座板1的顶部固接有分切箱5,分切箱5的底面为开口端,分切箱5的顶部固定插接有切割机6,基座板1位于分切箱5内的顶面上开设有用于盛放半导体芯片的放置槽18,基座板1位于分切箱5正下方的底部上固接有收集箱9,基座板1的顶面贯穿插接有风机2,风机2的出气端位于基座板1的上方且固定套接有进气管3,风机2的进气端位于基座板1的下方且固定套接有排气管4,进气管3的顶端固定插接在分切箱5内,排气管4的顶端固定插接在收集箱9内,且排气管4位于收集箱9内的端部上设置有滤网10,基座板1位于分切箱5内的顶面上开设有多个均匀分布的通孔19,通孔19使得分切箱5和收集箱9的内部为连通状态,风机2能够形成风循环,使得分切箱5内的碎屑和粉尘会进入到收集箱9内。

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权利要求:

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