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申请/专利权人：睿晶半导体(宁波)有限公司
摘要：一种光罩盒安装底座和光罩生产设备，光罩盒安装底座包括：底部和侧部，所述侧部设置于所述底部的一侧边上，所述侧部面向所述底部一侧的侧壁中具有压力传感器和与所述压力传感器连接的摄像头或蜂鸣器，所述摄像头用于在操作员将光罩盒放置在所述底部上，且所述压力传感器检测到所述光罩盒与所述侧部发生碰撞时进行拍摄或录像，所述蜂鸣器用于在操作员将光罩盒放置在所述底部上，且所述压力传感器检测到所述光罩盒与所述侧部发生碰撞时进行蜂鸣。能对操作员放置光罩盒的操作过程进行规范、教育以及警示，并可以减少光罩盒安装底座的清洗频率和次数，延长光罩盒安装底座的使用寿命，同时能增加光罩生产设备的运行时间。
主权项：1.一种光罩盒安装底座，其特征在于，包括：底部和侧部，所述侧部设置于所述底部的一侧边上，所述侧部面向所述底部一侧的侧壁中具有压力传感器和与所述压力传感器连接的摄像头或蜂鸣器，所述摄像头用于在操作员将光罩盒放置在所述底部上，且所述压力传感器检测到所述光罩盒与所述侧部发生碰撞时进行拍摄或录像，所述蜂鸣器用于在操作员将光罩盒放置在所述底部上，且所述压力传感器检测到所述光罩盒与所述侧部发生碰撞时进行蜂鸣。
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权利要求：
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