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电阻式存储器元件及其制作方法 

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申请/专利权人:联华电子股份有限公司

摘要:本发明公开一种电阻式存储器元件及其制作方法,其中该电阻式存储器元件包含:一基底;一介电层,设置于该基底上;一导电通孔,设置于该介电层中;以及一存储堆叠结构,设置于该导电通孔与该介电层上,其中,该存储堆叠结构包含一底电极层、位于该底电极层上的一电阻切换层,以及位于该电阻切换层上的一顶电极层,其中,该顶电极层包含至少两个物理上分离的子电极部分。

主权项:1.一种电阻式存储器元件,包含:基底;介电层,设置于该基底上;导电通孔,设置于该介电层中;以及存储堆叠结构,设置于该导电通孔与该介电层上,其中,该存储堆叠结构包含底电极层、位于该底电极层上的电阻切换层,以及位于该电阻切换层上的顶电极层,其中,该顶电极层包含至少两个物理上分离的子电极部分。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 联华电子股份有限公司 电阻式存储器元件及其制作方法

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