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申请/专利权人：浙江奥首材料科技有限公司
摘要：本发明涉及一种高蚀刻速率、高选择比氮化钛蚀刻液，按照重量份计算，包括如下组分：复合功能剂12‑20份；保护剂0.2‑0.9份；无机酸0.1‑0.6份；氧化剂3‑10份；有机溶剂15‑25份；超纯水30‑50份；其中，所述的复合功能剂是钠盐和醇类化合物组合物。本发明还公开上述蚀刻液的制备方法与用途。复合功能剂通过钠盐和醇类化合物协同作用，将溶液中分散的钛离子和氮离子更快的络合。保护剂和金属铜离子形成配位键，强烈吸附在金属铜表面，形成一层致密的薄膜。从而减缓金属铜的腐蚀，使本发明的氮化钛蚀刻液针对铜和氮化钛的蚀刻具有更高选择比，且对非金属氧化物具有较低的腐蚀速率。
主权项：1.一种高蚀刻速率、高选择比氮化钛蚀刻液，其特征在于，按照重量份计算，包括如下组分： 其中，所述的复合功能剂是钠盐和醇类化合物组合物。
全文数据：
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百度查询： 浙江奥首材料科技有限公司 一种高蚀刻速率、高选择比氮化钛蚀刻液及其制备方法与用途
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