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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。在使刷抵接于衬底而进行洗净处理的衬底处理方法中，所述方法包含以下步骤。旋转步骤，使保持着衬底的旋转保持部绕铅直方向的轴芯旋转；外周缘抵接步骤，在所述衬底在水平面内旋转的状态下，使刷抵接于比所述轴芯靠所述衬底的外周缘侧中的外周缘抵接位置；第1移动步骤，在使所述刷抵接于所述衬底的状态下，使所述刷从所述抵接位置移动到所述轴芯侧；及第2移动步骤，在所述第1移动步骤之后，使所述刷从所述轴芯侧移动到外周缘侧。
主权项：1.一种衬底处理方法，使刷抵接于衬底而进行洗净处理；且所述方法包含以下步骤：旋转步骤，使保持着衬底的旋转保持部绕铅直方向的轴芯旋转；外周缘抵接步骤，在所述衬底在水平面内旋转的状态下，使刷抵接于比所述轴芯靠所述衬底的外周缘侧中的外周缘抵接位置；第1移动步骤，在使所述刷抵接于所述衬底的状态下，使所述刷从所述外周缘抵接位置移动到所述轴芯侧；及第2移动步骤，在所述第1移动步骤之后，使所述刷从所述轴芯侧移动到外周缘侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 衬底处理方法及衬底处理装置
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