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申请/专利权人：应用材料以色列公司
摘要：本文公开了一种用于对样本进行非破坏性分类的系统。所述系统包括电子束源、X射线测量模块和计算模块。电子束源被配置为以一个或多个电子束着陆能量将电子束投射到样本上，以便穿透样本并且引起X射线的发射。X射线测量模块被配置为测量所发射的X射线。计算模块被配置为处理测量数据以获得样本中包括的至少一个目标物质的能量特征，并且基于所获得的能量特征和分别与一个或多个参考样本相关的一个或多个参考能量特征对已检查的样本进行分类。
主权项：1.一种用于对样本进行非破坏性分类的系统，所述系统包括：电子束e束源，所述电子束源被配置为以一个或多个电子束着陆能量将电子束投射到正在检查的样本上，所述电子束被配置为穿透已检查的样本并且引起X射线的发射；X射线测量模块，所述X射线测量模块被配置为通过测量所发射的X射线来获得测量数据；以及计算模块，所述计算模块被配置为：处理所述测量数据以获得所述已检查的样本包括的至少一个目标物质的能量特征，所述能量特征指示分别围绕所述至少一个目标物质的至少一个特性X射线谱线中的每一个特性X射线谱线的所述所发射的X射线的强度对所述电子束着陆能量的依赖性；以及基于所测量的能量特征和分别与一个或多个参考样本相关的一个或多个参考能量特征对所述已检查的样本进行分类。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料以色列公司 基于能量特征测量来对样本进行非破坏性分类
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