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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第四十九研究所
摘要：倒装键合MEMS矢量水听器敏感芯片及其制备方法，涉及一种水听器芯片及其制造方法。目的是为了克服现有水听器在10Hz以下的甚低频频段对水下静音目标的探测受到限制以及灵敏度低的问题，包括一个固定支撑部和两个电极板；固定支撑部相对的两个侧面分别设有键合层；每个电极板均包括层叠设置的阳极层、隔离层和阴极层；两个电极板分别通过阴极层与固定支撑部的两个键合层键合固定；固定支撑部上设有一个贯穿两个键合层的电解质溶液室；且固定支撑部的其他侧面设有与电解质溶液室连通的第一通孔；两个电极板上均设有第二通孔；且第二通孔与电解质溶液室连通。
主权项：1.倒装键合MEMS矢量水听器敏感芯片，其特征在于，包括一个固定支撑部1和两个电极板2；所述固定支撑部1的截面为矩形，且所述固定支撑部1相对的两个侧面分别设有键合层；每个电极板2均包括层叠设置的阳极层2-1、隔离层2-2和阴极层2-3；两个电极板2分别通过阴极层2-3与所述固定支撑部1的两个键合层键合固定；所述固定支撑部1上设有一个贯穿所述两个键合层的电解质溶液室3；且所述固定支撑部1的其他侧面设有与所述电解质溶液室3连通的第一通孔4；所述两个电极板2上均设有第二通孔5；且所述第二通孔5与所述电解质溶液室3连通。
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