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申请/专利权人：深圳市畅格光电有限公司
摘要：本发明涉及传感器生产技术领域，尤其是一种光纤光栅镀膜设备，包括底座，所述底座上固接有安装板，所述安装板上可转动的安装有圆形的壳体，所述壳体内部设有两个夹持机构以对光纤的两端进行夹持，所述安装板上设有加热器及磁控溅射耙，所述磁控溅射耙的中心点与光纤的中心点不重合，本装置通过光纤与磁控溅射耙中心点不重合的方式，能够在面积较小磁控溅射耙实现对长光纤的全面扫描，制备出均匀的薄膜，对于同样大的靶，也能够大幅度提高溅射成膜的面积。
主权项：1.一种光纤光栅镀膜设备，包括底座1，所述底座1上固接有安装板5，所述安装板5上可转动的安装有圆形的壳体6，其特征在于，所述壳体6内部设有两个夹持机构以对光纤的两端进行夹持，所述安装板5上设有加热器501及磁控溅射耙502，所述磁控溅射耙502的中心点与光纤的中心点不重合。
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权利要求：
百度查询： 深圳市畅格光电有限公司 一种光纤光栅镀膜设备
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