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申请/专利权人:三星电子株式会社
摘要:提供了检测图案重叠的方法和使用其形成图案的方法。该检测图案重叠的方法包括在衬底上形成下图案和上图案。绘制与下图案有公切线的样本图案。使用公切线计算下图案的真实重心的位置。
主权项:1.一种检测图案重叠的方法,所述方法包括:在衬底上形成下图案和上图案;绘制与所述下图案具有公切线的样本图案;以及使用所述公切线计算所述下图案的真实重心的位置。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 三星电子株式会社 检测图案重叠的方法和使用其形成图案的方法
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