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申请/专利权人：恩特格里斯公司
摘要：本发明描述将洁净流体调节元件安装到半导体衬底携载容器的内部空间中的方法。所述洁净流体调节元件从所述半导体衬底携载容器外部穿过所述容器的壁的一者中形成的端口而安装，其中所述端口经设置大小以允许通过穿过所述端口安装所述洁净流体调节元件而将所述洁净流体调节元件插入所述容器的所述内部空间。所述壁可为所述容器的底壁或所述容器的另一壁。所描述的所述方法消除了可能导致所述容器的内部环境受到人为污染的从所述容器的内部安装所述洁净流体调节元件的需要。
主权项：1.一种方法，其包括将洁净流体调节元件安装到半导体衬底携载容器的内部空间中，所述容器包含界定所述内部空间的多个壁，且所述容器具有开口，所述开口经设置大小以允许半导体衬底插入所述内部空间及从所述内部空间移除，其中安装所述洁净流体调节元件包括从所述半导体衬底携载容器外部且穿过形成于所述壁的一者中的端口安装所述洁净流体调节元件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 恩特格里斯公司 将洁净流体调节元件安装到半导体衬底携载容器中的方法
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