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申请/专利权人:三星电子株式会社
摘要:一种场效应晶体管包括:水平沟道层;层间绝缘层,在水平沟道层上;栅电极层,在层间绝缘层上;第一竖直沟道结构,在竖直方向上穿过栅电极层和层间绝缘层,与水平沟道层接触,并且连接到源极端子或漏极端子中的一个;以及第二竖直沟道结构,在水平方向上与第一竖直沟道结构分开,在竖直方向上穿过栅电极层和层间绝缘层,与水平沟道层接触,并且连接到源极端子或漏极端子中的另一个。
主权项:1.一种场效应晶体管,包括:水平沟道层;层间绝缘层,在所述水平沟道层上;栅电极层,在所述层间绝缘层上;第一竖直沟道结构,在竖直方向上穿过所述栅电极层和所述层间绝缘层,与所述水平沟道层接触,并且连接到源极端子或漏极端子中的一个;以及第二竖直沟道结构,在水平方向上与所述第一竖直沟道结构分开,在所述竖直方向上穿过所述栅电极层和所述层间绝缘层,与所述水平沟道层接触,并且连接到所述源极端子或所述漏极端子中的另一个。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 三星电子株式会社 场效应晶体管和包括该场效应晶体管的半导体器件
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