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申请/专利权人:ASMIP私人控股有限公司
摘要:公开了一种衬底处理设备。示例性衬底处理设备包括:多个反应室;气体供应单元,其配置为向反应室提供主气体;共享排气单元,其配置为从多个反应室排出主气体;多个排气管线,其配置为将共享排气单元流体联接到多个反应室;以及多个稀释气体管线,其配置为将稀释气体提供到多个排气管线中。
主权项:1.一种衬底处理设备,包括:多个反应室;多个气体供应单元,其配置为向反应室提供主气体;共享排气单元,其配置为从多个反应室排出主气体;多个排气管线,其配置为将共享排气单元流体联接到多个反应室;以及多个稀释气体管线,其配置为将稀释气体提供到多个排气管线中。
全文数据:
权利要求:
百度查询: ASMIP私人控股有限公司 共享排气单元和包括共享排气单元的衬底处理设备
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