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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要：本发明提供了一种低界面热阻复合材料的制备方法及低界面热阻复合材料，用于解决采用现有基于液态金属的界面热阻复合材料面临的热传递性能偏低的技术问题。本发明提供的低界面热阻复合材料的制备方法，利用飞秒激光在待加工基片表面进行高速直写，获得具有表面微结构的铜基片；然后将其放置于强酸或强碱溶液中，当铜基片的表面浸润性能发生改变后将铜基片从强酸或强碱溶液中取出；在铜基片微结构一侧的表面滴入用于热界面材料的液态金属，使液态金属嵌设在的铜基片表面的微结构中，获得的界面热阻材料有效增大了界面间的接触面积，使结合后的铜‑铜界面热阻得到明显降低，进而提升了界面热阻材料的传热系数。
主权项：1.一种低界面热阻复合材料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，选取两片铜基片，并对选取的两片铜基片分别进行打磨抛光与清洗，获得表面粗糙度一致的两片待加工基片；步骤2，通过飞秒激光在两片待加工基片的一侧表面分别进行高速直写，获得具有表面微结构的两片铜基片；所述微结构为线粗糙度在Ra0.2-Ra0.3，深度在6μm-15μm的微型结构；步骤3，对两片铜基片表面的微结构分别进行粗糙度测量和深度测量，判断微结构的线粗糙度和深度是否均达到微结构相应的限定阈值，若是，则执行步骤4，若否，则根据当前测量的微结构线粗糙度和深度与相应限定阈值的差值，对飞秒激光的加工参数进行优化，并返回步骤2或者步骤1；步骤4，将步骤3加工完成的两片铜基片放置于强酸或强碱溶液中，使铜基片的表面浸润性能发生改变，当铜基片表面与液态金属的接触角小于30度时，将两片铜基片从强酸或强碱溶液中取出；步骤5，在经步骤4处理的两片铜基片微结构一侧的表面分别滴入用于热界面材料的液态金属，使液态金属嵌设在的铜基片表面的微结构中；步骤6，将两片铜基片嵌设有液态金属的一侧相贴合，并将两片铜基片压紧，完成低界面热阻复合材料的制备。
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权利要求：
百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 低界面热阻复合材料的制备方法及低界面热阻复合材料
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