龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：河南大学
摘要：本发明公开了一种基于氢气退火提高铪基铁电器件剩余极化强度的方法，属于微电子器件技术领域，铪基铁电器件至上而下包括顶电极、铪基薄膜功能层、底电极和衬底；通过将该铪基铁电器件置于Ar:H2混合气体中，并在目标退火温度大于500℃且小于700℃的温度条件下进行退火，提高铪基铁电器件的剩余极化强度。本发明通过仅气氛退火方法，促使铪基铁电器件展现出优异的铁电性能，剩余极化强度显著增加，有利于铪基铁电器件在存储领域中的实际投产应用。
主权项：1.一种基于氢气退火提高铪基铁电器件剩余极化强度的方法，其特征在于，过程为：在衬底上沉积底电极；在所述底电极上制备铪基铁电薄膜，对铪基铁电薄膜进行氢气气氛退火增强其剩余极化强度；在退火处理之后的铪基铁电薄膜上沉积顶电极，形成铪基铁电器件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南大学 一种基于氢气退火提高铪基铁电器件剩余极化强度的方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号