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申请/专利权人：北京中科信电子装备有限公司

摘要：本发明公开了一种竖直方向束流角度的连续测量装置和方法，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该装置包括：法拉第杯5，束流挡板4，前置角度挡板3，束流挡板传动装置35，前置挡板传动装置42，控制器37。该方法包括：束流挡板停在起始点36，前置挡板向下运动到结束点50，控制器37采集束流值大小，判断是否满足测量条件。前置挡板向下运动，每到达一个角度测量点51便停止运动，此时束流挡板开始向下运动，并开始不断采集束流值。当前置挡板到达结束点时结束测量，分析每组束流采集值得出束流挡板的临界位置49。经过数据处理，得到与测量点一一对应的束流角度大小18。

主权项：1.一种用于在离子注入系统中竖直方向束流角度的连续测量方法，该方法包括：将前置挡板下边缘运动到结束点，以判断当前束流是否满足测量条件，开始测量时，控制器在前置挡板运动路径上预设了多个角度测量点，前置挡板每到达一个角度测量点便暂停运动，此时束流挡板向下运动，控制器每隔一小段间隔便采集一次束流值，得到一组束流值，然后前置挡板向下一个角度测量点运动，当前置挡板下边缘到达结束点时，结束测量，此时控制器将得到多组束流值，分析每组的束流值以得到对应的束流挡板临界位置，得到与测量点一一对应的角度值；其中，判断当前束流是否满足测量条件包括：前置挡板下边缘向下运动到结束点，束流挡板下边缘停在起始点；控制器采集束流值，并将前置挡板下边缘和束流挡板下边缘返回起始点；控制器分析束流值是否满足竖直角度测量条件，若不满足，则需要调整束流水平方向的角度34；所述起始点为束流产生装置22上边缘在竖直方向的位置，所述结束点为束流产生装置22下边缘在竖直方向的位置；其中，若束流被完全挡住，则满足竖直角度测量条件；其中，分析每组的束流值以得到束流挡板临界位置包括：在每个角度测量点，控制器得到束流值数组，在测量的开始阶段，由于前置挡板的阻挡，束流挡板无法阻挡束流，因此束流值不变46，当束流挡板向下运动一段距离后，束流将打到束流挡板，此时束流值将开始变小48，束流值减小时的临界点为束流临界点，束流临界点对应的束流挡板4下边缘在竖直方向的位置为束流挡板4的临界位置；其中，数据处理包括：前置挡板和束流挡板在水平方向上的间隔11是不变的，这由前置挡板的水平位置9和束流挡板的水平位置10确定，对于y1角度测量点12，第一束流6刚好从前置挡板下边缘穿过，第二束流2被前置挡板阻挡而无法穿过，束流挡板的临界位置在y213，即第一束流6刚好被束流挡板阻挡的位置，Δm14为束流挡板的临界位置y213、y1角度测量点12在竖直方向的距离，通过Δx和Δm求得y1点束流竖直方向角度18；其中，Δx为前置挡板3和束流挡板4在水平方向上的间隔。

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