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申请/专利权人：长沙利洁环保科技有限公司

摘要：本发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生系统，包括电解槽（30）、循环槽（20）、氯气吸收回用塔（10）；所述电解槽（30）内设有阳极区（301）和阴极区（302）；所述循环槽（20）分为阳极循环区（229）、蚀刻循环区（230）和阴极循环区（231）；所述电解槽的阳极区（301）分别与循环槽的阳极循环区（229）和蚀刻循环区（230）连通；所述电解槽的阴极区（302）与阴极循环区（231）相互连通；所述电解槽的阳极区（301）和阴极区（302）以及所述循环槽（20）的蚀刻循环区（230）、阴极循环区（231）与氯气吸收回用塔（10）连通；所述氯气吸收回用塔（10）与阳极循环区（229）连通。该再生系统可以将酸性蚀刻液在线循环再生直接利用，节约成本，且氯气零排放，保护环境。

主权项：1.一种酸性蚀刻液循环再生系统，包括蚀刻线（4）和电解槽（30），其特征在于，还包括循环槽（20）、氯气吸收回用塔（10）、母液储备桶（5）和再生液储备桶（6）；所述电解槽（30）内设有阳极区（301）和阴极区（302）；所述循环槽（20）包括槽体（201），所述槽体（201）的底部通过隔板分割为阳极循环区（229）、蚀刻循环区（230）和阴极循环区（231），其中蚀刻循环区（230）和阳极循环区（229）顶部相通；所述电解槽（30）的阳极区（301）分别与循环槽（20）的阳极循环区（229）和蚀刻循环区（230）连通；所述电解槽（30）的阴极区（302）与阴极循环区（231）相互连通；所述电解槽（30）的阳极区（301）和阴极区（302）以及所述循环槽（20）的蚀刻循环区（230）、阴极循环区（231）与氯气吸收回用塔（10）连通；所述氯气吸收回用塔（10）与循环槽（20）的阳极循环区（229）连通；所述母液储备桶（5）与阳极循环区（229）、蚀刻循环区（230）和阴极循环区（231）连通；阳极循环区（229）药水的液位由阳极循环区液位控制器（223）控制，当液位低于设定值时自动从母液储备桶（5）通过母液添加管（219）来添加药水到阳极循环区（229），添加到液位达到设定值后自动停止添加；蚀刻循环区（230）的液位由蚀刻循环区液位控制器（233）控制，当蚀刻循环区（230）液位高于设定值时自动从母液外排泵连接管（214）外排到母液储备桶（5），外排到一定液位后自动停止外排；母液添加管（204）连接母液储备桶（5），当阴极循环区主槽（238）的药水比重过低时，从母液添加管（204）添加母液到阴极循环区主槽（238）；所述再生液储备桶（6）与阳极循环区（229）和阴极循环区（231）连通；阴极循环区主槽（238）的液位过高时会溢流到阴极循环区副槽（232），阴极循环区副槽（232）的液位由阴极循环区副槽液位控制器（228）控制，当阴极循环区副槽（232）液位过高时，再生液外排泵连接管（209）连接再生液外排泵自动抽到再生液储备桶（6），再生液外排到一定液位后自动停止外排；第一比重取样盒（224）药水入口连接阳极循环泵加入阳极循环区（229）的蚀刻废液，出口连接阳极循环区（229），通过第一比重检测器来检测比重，当比重过高时，通过再生液储备桶（6）从再生液添加管（218）添加再生液来降低比重；所述循环槽（20）的阳极循环区（229）与蚀刻线（4）连通，所述蚀刻线（4）与循环槽（20）的蚀刻循环区（230）连通；所述电解槽（30）内设置至少一个阳极膜框（313），将电解槽（30）形成分开的阳极区（301）和阴极区（302）；所述阳极膜框（313）包括离子膜（346）、框体（345），所述框体（345）顶部设有阳极膜框溢流口（314），所述框体（345）的底部和左右边缘密封，所述框体（345）前后两个侧面分别设有离子膜（346），所述离子膜（346）的外侧分别设有保护膜（347），所述保护膜（347）的外侧分别设有固定挡板（348），所述离子膜（346）、保护膜（347）和固定挡板（348）依次固定在框体（345）的两侧面，形成一个闭合的空腔；所述阳极膜框（313）空腔内设有阳极板（318），所述阳极膜框（313）空腔外设有阴极板（327），所述电解槽（30）顶部设有电解槽排气管；所述循环槽（20）的阴极循环区（231）又分为阴极循环区主槽（238）和阴极循环区副槽（232）；所述阳极循环区（229）和阴极循环区（231）顶部分别设有循环槽排气管，所述阳极循环区（229）、蚀刻循环区（230）和阴极循环区（231）的侧壁上分别设有多个进液管和出液管，用于与外部设备连通；所述阳极循环区（229）、蚀刻循环区（230）和阴极循环区（231）内分别设有液位控制器，所述阳极循环区（229）和阴极循环区主槽（238）上设有比重取样盒；所述蚀刻循环区（230）设有ORP检测器（225），所述阴极循环区（231）内布置有冷却管（237）和温度检测器（236）；所述氯气吸收回用塔（10）包括塔体，所述塔体包括氯气吸收室（120）以及与氯气吸收室（120）底部连通的主槽（130）；所述氯气吸收室（120）顶部设置有净化气体排放口（121），所述氯气吸收室（120）顶端内部设置有雾气吸收填充物层，所述雾气吸收填充物层下方设置至少一层喷淋管（133），所述喷淋管（133）下方设有至少一个雾化器（123），所述雾化器（123）下端设置有多面球层；所述主槽（130）上端一侧设置有氯气进风口（125），所述主槽（130）表面中部设置有溢流口（126），所述主槽（130）表面下端设置有蚀刻液进水排水口（127），所述主槽（130）一侧下端设置有循环泵（129），所述循环泵（129）顶部与氯气吸收室（120）的喷淋管（133）连通。

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