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申请/专利权人：细美事有限公司
摘要：本发明提供一种喷头单元及具有该喷头单元的基板处理系统，该喷头单元利用面状发热体能够按区域调节温度。所述基板处理系统包括：壳体；喷头单元，设置在壳体的内部上侧，并且用于向壳体的内部引入用于蚀刻基板的工艺气体；以及静电卡盘，设置在壳体的内部下侧，并且用于放置基板，其中，喷头单元以面状发热体设置在多个区域，并按区域控制温度。
主权项：1.基板处理系统，包括：壳体；喷头单元，设置在所述壳体的内部上侧，并且向所述壳体的内部引入用于蚀刻基板的工艺气体；以及静电卡盘，设置在所述壳体的内部下侧，并且用于放置所述基板，其中，所述喷头单元以面状发热体设置在多个区域中，并按区域控制温度；其中，所述喷头单元包括多个发热体，所述多个发热体中的至少一个发热体的部分延伸以连接至相邻的发热体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 细美事有限公司 喷头单元及具有该喷头单元的基板处理系统
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