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申请/专利权人：三菱电机株式会社
摘要：波导型受光元件100具备依次形成于半导体基板1的第一导电型的第一接触层2、波导层31、以及第二导电型的第二接触层6。波导层31具备：配置于第一接触层2侧的第一导电型的第一包覆层3、配置于第二接触层6侧的第二导电型的第二包覆层5、以及配置于第一包覆层3与第二包覆层5之间的芯层30。芯层30具有吸光层4和杂质掺杂光吸收层8，该杂质掺杂光吸收层8的p型杂质的浓度比吸光层4高且配置于光入射面21侧。
主权项：1.一种波导型受光元件，是在半导体基板形成有具有吸收光的芯层的波导层的波导型受光元件，其中，所述波导型受光元件具备依次形成于所述半导体基板的第一导电型的第一接触层、所述波导层、以及第二导电型的第二接触层，所述波导层具备：配置于所述第一接触层侧的第一导电型的第一包覆层、配置于所述第二接触层侧的第二导电型的第二包覆层、以及配置于所述第一包覆层与所述第二包覆层之间的所述芯层，所述芯层具有吸光层、和仅对该吸光层的信号光入射的光入射面侧的端部掺杂p型杂质而形成的杂质掺杂光吸收层，该杂质掺杂光吸收层的所述p型杂质的浓度比所述吸光层高。
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