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申请/专利权人：杭州芯微影半导体有限公司
摘要：本发明提供一种接近式扫描步进光刻机，包括光刻机本体，光刻机本体的加工腔内部底端滑动连接工作台板，光刻机本体后端固定连接伸缩设备的固定部，伸缩设备的活动部穿过光刻机本体并与工作台板连接，工作台板左右两端均固定连接齿条，齿条背离工作台板一端啮合齿轮，光刻机本体的加工腔内部底端前侧位置对称转动连接两个螺杆，且螺杆外端螺纹连接套筒，光刻机本体前端滑动连接盖板，盖板后端对称固定连接两个连接杆，与现有技术相比，本发明具有如下的有益效果：利用伸缩设备，使工作台板移动，并在齿条、齿轮、套筒以及螺杆作用下，使盖板上下运动，达到工作台板运动与盖板开合产生联动的目的，便于使用，提供工作效率。
主权项：1.一种接近式扫描步进光刻机，其特征在于：包括光刻机本体1，所述光刻机本体1的加工腔内部底端滑动连接工作台板3，所述光刻机本体1后端固定连接伸缩设备的固定部，所述伸缩设备的活动部穿过光刻机本体1并与工作台板3连接，所述工作台板3左右两端均固定连接纵向布置的齿条7，所述齿条7背离工作台板3一端啮合齿轮6，所述光刻机本体1的加工腔内部底端前侧位置对称转动连接两个竖向布置的螺杆5，且螺杆5外端螺纹连接套筒4，所述螺杆5设置在齿轮6前侧并与齿轮6链条连接，所述光刻机本体1前端滑动连接用于封堵光刻机本体1的加工腔进口的盖板2，所述盖板2后端对称固定连接两个连接杆41，两个所述连接杆41分别固定在两个套筒4前端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州芯微影半导体有限公司 一种接近式扫描步进光刻机
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