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申请/专利权人：武汉理工大学
摘要：本发明涉及一种激光微加工超声耦合超临界射流辅助装置与方法，其包括介质流供给组件与超声射流耦合组件，其中介质流供给组件具有一输出超临界二氧化碳流体的输出端，超声射流耦合组件包括射流喷头与超声换能器，射流喷头指向加工工件表面的激光刻蚀处，超声换能器与射流喷头固定连接以带动射流喷头振动，使超临界二氧化碳流体经由出口端喷出后形成具有较高穿透能的超声耦合超临界二氧化碳射流；解决现有技术中的激光加工辅助装置在辅助激光加工时，吹扫介质无法深入激光加工的切缝内部，无法对切缝内部的烧蚀残留物有效清除，对激光加工质量改善效果较小的问题。
主权项：1.一种激光微加工超声耦合超临界射流辅助装置，其特征在于，包括介质流供给组件与超声射流耦合组件；所述介质流供给组件具有一输出超临界二氧化碳流体的输出端；所述超声射流耦合组件包括射流喷头与超声换能器，所述射流喷头具有一进口端与一出口端，所述进口端与所述输出端连通，且所述进口端与所述输出端转动连接，所述出口端指向加工工件表面的激光刻蚀处，所述超声换能器与所述射流喷头固定连接以带动所述射流喷头振动，使超临界二氧化碳流体经由所述出口端喷出后形成超声耦合超临界二氧化碳射流；所述介质流供给组件包括储存罐、输气管道、热泵以及调压阀，所述储存罐内储存有干冰，所述输气管道一端连通所述储存罐，另一端为所述输出端，并连通所述进口端，所述热泵与所述调压阀设置于所述输气管道，用于控制所述输气管道中二氧化碳流体的温度与压力，以形成超临界二氧化碳流体。
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