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申请/专利权人：天合光能股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种硅片生产装置，涉及光伏生产装置技术领域。本实用新型的实施例提供的硅片生产装置包括炉体以及匀流板结构。炉体具有进气口以及用于容纳硅片的内腔，通过进气口向内腔提供气体。匀流板结构设置在内腔中，且用于对进气口进入内腔的气流进行调整，起到匀流效果。同时匀流板结构包括相互贴合的第一匀流板和第二匀流板，第一匀流板上设置有第一通孔，第二匀流板上设置有第二通孔。通过第一匀流板和第二匀流板的相对转动改变匀流板结构的气体流通面积，进而使得通过匀流板结构的气流流量得到调节，提升内腔中硅片区域的流场均匀性，进而提升片内方阻均匀性，达到提升扩散均匀性的目的。
主权项：1.一种硅片生产装置，其特征在于：所述硅片生产装置包括：炉体，所述炉体具有用于容纳硅片的内腔以及与所述内腔连通的进气口；以及匀流板结构，所述匀流板结构设置在所述内腔中，且用于对所述进气口进入所述内腔的气流进行调整；所述匀流板结构包括相互贴合的第一匀流板和第二匀流板，所述第一匀流板上设置有第一通孔，所述第二匀流板上设置有第二通孔；所述第一匀流板和所述第二匀流板可转动地连接，以通过所述第一匀流板和所述第二匀流板的相对转动改变所述匀流板结构的气体流通面积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能股份有限公司 一种硅片生产装置
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