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一种光阻涂胶机胶嘴全自动清洗装置 

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申请/专利权人:广西自贸区睿显科技有限公司

摘要:本实用新型涉及一种光阻涂胶机胶嘴全自动清洗装置。它解决了现有技术胶嘴清洗不干净的技术问题。本光阻涂胶机胶嘴全自动清洗装置,包括具有清洗内腔的装置主体,所述清洗内腔从上至下依次设有气流清洗机构、液流清洗机构、中级清洗机构和高级清洗机构,所述高级清洗机构包括位于所述清洗内腔底部的超声波槽,所述超声波槽的一侧穿接进液管,所述超声波槽的另一侧穿接出液管,所述超声波槽内注入清洗溶液。本实用新型优点在于:运用超声波清洗胶嘴,提高胶嘴内外部的清洁效率。

主权项:1.一种光阻涂胶机胶嘴全自动清洗装置,包括具有清洗内腔的装置主体1,其特征在于,所述清洗内腔从上至下依次设有气流清洗机构、液流清洗机构、中级清洗机构和高级清洗机构,所述高级清洗机构包括位于所述清洗内腔底部的超声波槽2,所述超声波槽2的一侧穿接进液管20,所述超声波槽2的另一侧穿接出液管21,所述超声波槽2内注入清洗溶液。

全文数据:

权利要求:

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