龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：繁枫新能源(上海)有限公司
摘要：本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开了一种真空镀膜设备的防护机构。本实用新型的防护机构，包括：防护板、下过度盘、上过度盘和连接螺钉，防护板与镀膜腔室的顶板连接，设有多个检测孔和连接通孔，下过度盘和上过度盘的内外侧壁均呈圆弧形，下过度盘设有凸出环部和第一螺纹孔，上过度盘设有安装孔，下过度盘和上过度盘分别设置在防护板的两侧，通过连接螺钉连接，凸出环部穿设在检测孔内。本实用新型的防护机构，防护板将镀膜腔室的顶板遮挡，顶板上的结晶体不会掉落到镀膜工件上；防护板的检测孔处设置下过度盘和上过度盘，下过度盘和上过度盘的侧壁为圆弧形面，防止镀膜材料粉尘在检测孔处凝结结晶，保证镀膜工件和设备的安全。
主权项：1.一种真空镀膜设备的防护机构，其特征在于，包括：防护板、下过度盘、上过度盘和连接螺钉；所述防护板为钼板，设置在真空镀膜设备的镀膜腔室的顶部，与镀膜腔室的顶板连接，用于遮挡所述顶板；所述防护板设有多个检测孔和连接通孔，所述连接通孔均布在所述检测孔的外侧，所述检测孔用于供检测激光光源通过；所述下过度盘和所述上过度盘的内外侧壁均呈圆弧形；所述下过度盘设有凸出环部和多个第一螺纹孔，所述上过度盘设有多个安装孔，所述第一螺纹孔、所述安装孔、以及所述连接通孔相互对应；所述下过度盘和所述上过度盘分别设置在所述防护板的下表面和上表面上，通过所述连接螺钉连接，所述凸出环部穿设在所述检测孔内，与所述上过度盘抵持，且所述下过度盘与所述上过度盘的内侧面拼接成光滑的圆弧面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 繁枫新能源(上海)有限公司 真空镀膜设备的防护机构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号