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申请/专利权人：苏州联讯仪器股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆测试装置的加热结构及晶圆测试装置，涉及晶圆测试技术领域。本实用新型将多组加热组件安装在基座的多个安装位上，且每组加热组件设置至少一个加热棒，将多组加热组件呈三角形布置，使得加热棒分散布置，各组加热组件对加热结构的中心位置由加热棒的棒身均匀传热，避免所有加热棒的端部集中靠近于加热结构的中心位置而导致中心位置的温度过高，以使得加热组件的热量传递均匀，传热效果好，从而能够使得夹具内的晶圆受热均匀。
主权项：1.一种晶圆测试装置的加热结构，其特征在于，包括：基座，所述基座的内部具有多个安装位；多组加热组件，分别安装在所述多个安装位处，每组所述加热组件包括至少一个加热棒，多组所述加热组件呈三角形布置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州联讯仪器股份有限公司 一种晶圆测试装置的加热结构及晶圆测试装置
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