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申请/专利权人：北京子牛亦东科技有限公司
摘要：本申请涉及等离子体光源技术领域的一种灯室冷却装置以及激光维持等离子体光源系统，灯室冷却装置包括：气孔，所述气孔形成于聚光镜上；供气组件，设于所述聚光镜远离灯泡的一侧，能够向所述气孔供应冷却气体。本申请的灯室冷却装置可以降低氮气消耗，提升灯室的冷却效果，并降低对灯室侧光路的不利影响，且不再需要定期更换冷却气体管路，降低了成本。
主权项：1.一种灯室冷却装置，其特征在于，包括：气孔，所述气孔形成于聚光镜上；供气组件，设于所述聚光镜远离灯泡的一侧，能够向所述气孔供应冷却气体；所述聚光镜为碗型结构，所述灯泡位于所述碗型结构内，所述气孔为多个，多个所述气孔分为多排，每排气孔在所述聚光镜上均环绕所述灯泡布置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京子牛亦东科技有限公司 灯室冷却装置以及激光维持等离子体光源系统
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