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申请/专利权人：苏州迈为科技股份有限公司
摘要：本实用新型涉及磁控溅射技术领域，尤其涉及一种磁控溅射磁场检测工装。该磁控溅射磁场检测工装包括夹紧组件、活动组件和高斯计，夹紧组件的端部与活动组件铰接，夹紧组件被配置为夹紧冷却水管，活动组件呈弧形设置，活动组件所在圆的圆心与圆柱形靶材的圆心重合；冷却水管与磁钢连接，夹紧组件与活动组件限定出容置空间，磁钢和冷却水管均位于容置空间内。活动组件上开设有槽口，高斯计的探头能容置在槽口内，以测量圆柱形靶材表面的磁场强度。该磁控溅射磁场检测工装能够提高磁钢磁场强度测量的准确度，无需现有技术中多次调节冷却水管与磁轭之间的距离，省时省力，提高工作效率，节约成本。
主权项：1.磁控溅射磁场检测工装，其特征在于，包括夹紧组件100、活动组件200和高斯计，所述夹紧组件100的端部与所述活动组件200铰接，所述夹紧组件100被配置为夹紧冷却水管10，所述活动组件200呈弧形设置，所述活动组件200所在圆的圆心与圆柱形靶材的圆心重合；所述冷却水管10与磁钢20连接，所述夹紧组件100与所述活动组件200限定出容置空间300，所述磁钢20和所述冷却水管10均位于所述容置空间300内；所述活动组件200上开设有槽口210，所述高斯计的探头能容置在所述槽口210内，以测量所述圆柱形靶材表面的磁场强度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州迈为科技股份有限公司 磁控溅射磁场检测工装
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