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一种化学气相沉积炉用尾气处理装置 

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申请/专利权人:西安航空制动科技有限公司

摘要:一种化学气相沉积炉用尾气处理装置,包括手动蝶阀、波纹管、焦油过滤器、真空管道和真空泵。焦油过滤器的入口端与波纹管的出口端法兰连接;焦油过滤器的出口端与真空泵的进气口通过真空管道法兰连接。所述波纹管的入口端与排气管道的下端通过法兰连接,该排气管道的上端与炉体的排气口连通。在排气管道上设有手动蝶阀。本发明减少了进入真空泵的焦油含量,有效避免了焦油对真空泵的污染;利用过滤网和过滤介质阻拦真空泵前端的尾气杂质,解决了化学气相沉积尾气污染真空泵致使真空泵异常磨损、抽力不足的问题,并使工业废料二次利用,节约了生产成本,延长了焦油盘清洁周期。

主权项:1.一种化学气相沉积炉用尾气处理装置,其特征在于,包括手动蝶阀、波纹管、焦油过滤器、真空管道和真空泵;焦油过滤器的入口端与波纹管的出口端法兰连接;焦油过滤器的出口端与真空泵的进气口通过真空管道法兰连接;所述波纹管的入口端与排气管道的下端通过法兰连接,该排气管道的上端与炉体的排气口连通;在排气管道上设有手动蝶阀;焦油盘安放在焦油过滤器箱体底部,并将箱底的排气口完全遮挡。

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权利要求:

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